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二流体清洗喷嘴(Wafer cleaning)
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二流体清洗喷嘴(Wafer cleaning)

喷射角度

60°、80°

喷雾形状

扇形喷雾,喷射区域成线形(强打击力)

材质

不锈钢316

特点

气液混合二流体,可喷氮气及晶圆清洗液

应用范围

适用于单晶圆清洗机清洗晶圆、清洗印刷基板、表面处理钢板等

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